真空溶融

今、合成シリカ粉の真空溶融（正確には真空電気焼結）のテストをやっているが、気泡はないようだ。炉が汚いために、若干の着色があるものの、純度は保っているようだ。

本当ならモリブデンの型を使うのだが、着色するため黒鉛にした。黒鉛なら何回でも使用することができるし、断熱レンガにジルコニアを使う必要もない。もっといえば、私はシリンダーを作るつもりであり、黒鉛型の方が融通が利くのである。

サンプルはGDMSで分析する予定であり、もし問題なければシリンダーを製作する。さらに大型のインゴットを作るための投資をやろうと思っている。もし黒鉛型が使えれば、コスト的にも安くなるので期待している。

酸水素溶融でなくて、なぜ真空溶融かといえば、CVDや拡散工程で認定されているのが天然の真空溶融品だからだ。酸水素溶融はエッチャーパーツに使用するが、CVDや拡散部品については問題がある。