半導体用石英は岐路に

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多くの半導体技術者は、天然石英ガラスから合成石英ガラスに変えたいと思っている。それを阻むのが価格の壁である。いくら中国であっても14,000円/kgの壁を乗り越えるのは難しいからだ。今一番安い合成石英ガラスは、中国のCVD法の16,000円/kgである。基本的に四塩化ケイ素から製造することには問題がある。

それで期待されているのが、合成シリカ粉を溶融装置でインゴットにする技術だ。今中国で発売されているTEOSからの合成シリカ粉の価格は6,000円/kgである。これを酸水素溶融し、成形すると大体、12,000円/kgとなる。市場の要求は10,000円を切ることだ。

我々の合成シリカ粉はできたばかりであるが、2,000円/kgでの販売を考えている。このインゴットの推定価格は8,000円程度と推定している。真空溶融インゴットなら5,000円くらいで販売可能だ。

これからは、群雄割拠の戦国時代を迎えるが、この製法以外の製法は敗者となるだろう。これによって新しい合成石英の時代が来るように思う。

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