エッチャーパーツ

私は、水ガラス法合成シリカから天然石英の溶融法によりエッチャーパーツを製造する工場を建設中である。

材質　　　交換周期（日）　価格　　　価格/日
合成石英　　45 　　　　　　2.0 　　　　0.044
天然石英　　30 　　　　　　1.0 　　　　0.033
新材料　　　50　　　　　　 1.5 　　　　0.029

エッチャーパーツは消耗品であるため、交換をする。その時のタイムロスが大きい。交換周期が伸びただけでも効果はあるのだが、エッチャーパーツの価格を交換周期で割った値を計算すると、新材料が天然石英より優れていることがわかる。

現在、合成石英が使われているのはEUVプロセスのみである。実際、約２割程度しか使われていない。価格/日が同じであれば合成石英は伸びるのであろうが、それは期待できない。故に約８割は天然石英だ。しかし、新材料は天然石英も交換できるということがわかる。