人生100歳だというが　渡部弘行

今から40年以上前にやっていた石英ガラスの電気分解炉について、ナベショー中国が販売を開始する。石英ガラスからNa＋、K＋、Li＋、Cu2＋を短時間で除去することができる。

例えば、石英ルツボでは大口径化により使用温度は高温になって、従来問題とならなかったLi＋が移動するようになっている。Al-Li結合が１５００℃以上で結合が切れ、Li＋がシリコン融液に混入する。シリコンウェハーにとって、Na＋、K＋、Li＋、Cu2＋は回路形成後の絶縁不良を起こすため、IOTA-8を使用している。IOTA-8は１５００℃以上の高温でClガス処理をしたもので、非常に高く販売されている。石英ルツボの合成シリカ粉と合わせた原料コストは９０％を超える。この装置は原料コストを半分以下にできる。また電気分解後は粘度が高くなり、変形に耐えることができる。