人生100歳だというが　渡部弘行

10月25日に特許が公開になった。特開2022-162943の「合成石英ガラス製エッチャーパーツ」である。これは合成シリカ粉をプラズマ溶融してエッチャーパーツにするものだが、この時点では優れていると思っていた。しかし、最近になってどうも違うようだということになった。私が開発した「天然代替合成シリカ」を溶融したものは、酸水素溶融であってもエッチングレートが極めて少ないことが分かったのだ。これには不純物が関係している。

最近作った資料にそれが載っている。これが水ガラス法の利点であるように思える。高純度だけがよいことではない。目からうろこであった。