ネオンガス不足の恐れ

3〜4分

ロシアによるウクライナ侵攻が激しさを増す中、半導体製造用ガス「ネオン」を生産するウクライナの主要メーカー2社が操業を停止した。2社でネオンの世界の供給量の約半分を占める。 ウクライナ企業のインガス(Ingas)とクライオイン(Cryoin)は、半導体製造に使われるレーザー光の生成に必要なネオンの世界供給の45─54%を生産している。

ネオンガスは空気中に12ppm含まれる。これを精製して取り出す。ネオンガスはエキシマレーザーの封入ガスのバランスガスとして使用されている。したがってKrFエキシマステッパーに使用されている。

ネオンガスが今回は多くの注目を集めているが、実際にはネオンガスの量は大きくない。それは主に他のガスと混合されているため、総需要は特に大きくはない。「NANDフラッシュのエッチングプロセスでは、希ガスが大量に使用される。現在、6つの主要なメモリチップ製造業者のうち、Samsung Electronicsは主にキセノンガスを使用している(クリプトンガスをテストし始めたと言われている)。 5つのNANDチップ製造業者はすべてクリプトンガスを使用している。また主要な半導体工場の希少ガスストックは3-6ヶ月分あり、基本的に影響はない。ウクライナは希ガスの大きな生産国であるが、最近は中国の希ガス生産能力が拡大し続けていまて、中国のクリプトン、ネオン、キセノンガス生産能力がウクライナの生産能力を超えている。

しかしながら、中国への依存度が高いことがいいことかどうか、中国が台湾に侵攻したらどうなるのかなどの検討が必要だろう。

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