SEMICON JAPAN 2021

2〜4分

SEMICON JAPAN 2021が東京ビックサイトで12月15(水)~17(金)の3日間開かれる。East Hall4~5の前処理工程のフロアの駒番号4815のTHMブースの隅で当社独自開発の合成石英ガラスを展示する。これは水ガラス法で作った合成シリカ粉をプラズマ溶融したものである。これは世界で初めて我々が量産化したものである。この合成石英ガラスは従来の四塩化ケイ素から製造した合成石英ガラスと天然石英粉から製造した溶融石英ガラスの中間という位置づけである。特性は四塩化ケイ素から製造した合成石英ガラスに近く、価格は溶融石英ガラスに近い。

四塩化ケイ素から製造した合成石英ガラスは非常に高価であるが、光学性な特性は極めていい。しかし、四塩化ケイ素は珪石をカーボンで還元してシリコンを作り、それを塩素化して作る。還元するときにCO2を排出し、莫大な電気を使う。製造工程は危険で四塩化ケイ素も危険だ。さらに合成石英を作るときに大量の塩素が発生する。それに比べ我々の方法は危険な物質を使わないし、電力も少ない。もちろん溶融石英ガラスを作るときの原料である天然石英粉のように珪肺になることもない。

 おそらく合成シリカ粉を使用した合成石英ガラスを一般に公開するのは初めてであるが、この方法によって石英ガラス業界がクリーンな業界に変わればよいと希望する。

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