人生100歳だというが　渡部弘行

　今や世界最大の半導体関係の展示会となったセミコンチャイナは上海で開かれている。私が注目するのが、合成石英のインゴットである。我々は自身の合成シリカ粉からプラズマ法によって合成石英インゴットを製造販売している。

　中国勢ではフィリファとジングランが合成のインゴットを展示している。いずれも四塩化ケイ素の酸水素法である。価格はフィリファが３２から６４円／ｇ、ジングランが１１２円／ｇだそうだ。外国勢ではヘラウスとコーニングが出展、価格はそれよりも高い。これはいずれも光学用とのことである。半導体用はその価格の0.7倍くらい安い。理由は光学用の規格外品だからだ。

　我々のプラズマ溶融インゴットは、光学用としても半導体用としても販売している。光学用途は成形後の長時間アニール品であり、半導体用は単なる成型品である。この販売価格は、既存品に比べて２０～７０％安い。この価格はコストが異常に低いからだ。この方法では光学用で３ｋｇ／時、半導体用で５ｋｇ／時の製造が可能だ。

　SiCl4をSiO2にすることは、例えば１ｋｇの石英ガラスを作ろうとすると、２．８ｋｇのＳｉＣｌ４が必要で、廃ＨＣｌは373L出ることになる。これをスクラバーで回収し、水酸化カルシウムで中和すれば、このコストも高くなる。合成シリカ粉から作れば、１ｋｇのガラスは、１．１ｋｇの合成粉から作れる。有害な酸性ガスも出ない。自然にも優しいのである。

　私はこの方法が全てのＳｉＣｌ４法を替えるとは思っていない。最先端の用途には使えないだろうと思っているが、天然石英の代替えによる珪肺の撲滅、そして普通の合成石英の代替えには使用できるだろう。